ASML 取得用于在 EUV 光源中减少来自源材料的污染的装置和方法专利
金融界 2024 年 11 月 6 日消息，国家知识产权局信息显示，ASML 荷兰有限公司取得一项名为“用于在 EUV 光源中减少来自源材料的污染的装置和方法”的专利，授权公告号 CN 113039868 B，申请日期为 2019 年 10 月 。
本文源自：金融界
作者：情报员
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