常州裕能石英申请石英坩埚镀膜装置专利，提升镀膜厚度均匀性和一致性

金融界2024年12月7日消息，国家知识产权局信息显示，常州裕能石英科技有限公司申请一项名为“一种石英坩埚镀膜装置”的专利，公开号CN 119082710 A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本发明涉及石英坩埚生产技术领域，具体为一种石英坩埚镀膜装置，包括：喷镀舱、喷涂组件和多维坩埚支架，喷涂组件用于在镀膜过程中将镀膜材料均匀喷射到坩埚表面，而多维坩埚支架负责通过多轴旋转系统使坩埚从不同角度接受喷涂，装置还配备了真空和排气系统、气体供给系统和气氛加热系统，分别负责控制喷镀舱内的真空环境、气体供给以及加热条件。本发明中，通过高集成度的多维坩埚支架，具有水平轴向和竖直轴向的灵活旋转功能，使坩埚在镀膜过程中可以从多个角度接受喷涂，使其在水平和竖直两个轴向上的旋转和定位更加精准，确保了镀膜过程的精确控制，有效提升了镀膜厚度的均匀性和一致性。

本文源自：金融界

作者：情报员