成都中科唯实申请种低粒子真空蝶阀专利，避免阀芯与阀体金属接触减少粒子产生

金融界2024年11月2日消息，国家知识产权局信息显示，成都中科唯实仪器有限责任公司申请一项名为“种低粒子真空蝶阀”的专利，公开号 CN 118881747 A，申请日期为 2024 年 9 月。

专利摘要显示，本发明涉及一种低粒子真空蝶阀，包括气缸组件、阀芯组件及阀体。该蝶阀通过特殊设计的气缸组件与阀芯组件间的连接杆及滑动轨道机制，在开、关阀过程中避免阀芯与阀体金属接触，减少粒子产生，提高系统可靠性。气缸组件内的活塞轴套上设有两段滑动轨道，分别驱动连接杆绕不同点旋转，实现阀芯精确控制。阀芯组件采用耐磨材料支撑环，确保密封同时避免金属摩擦。此外，阀门设计具有自锁功能，提高安全性。本发明的低粒子真空蝶阀特别适用于薄膜镀层、质谱分析等对真空环境要求严苛的领域。

本文源自：金融界

作者：情报员