国内首条12英寸智能传感器晶圆制造产线项目在广州增城投产

6月28日，增芯举行国内首条12英寸智能传感器晶圆制造产线项目投产启动仪式。该项目位于增城经济技术开发区核心区，一期投资70亿元，建设月加工能力达2万片的12英寸MEMS制造生产线。预计今年底实现产品交付客户。

增芯是在增城落地的第一家芯片制造企业，其12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造产线项目是广东省、广州市重点项目，对增城乃至广州、广东集成电路产业发展具有重要意义。

“芯片有了增城造”

走进增芯项目主厂房参观通道，可直观了解芯片制造生产过程。芯片制造对洁净环境要求非常高，记者在现场看到，包括光刻机、干法刻蚀机等在内的晶圆加工设备以及各种检测和测试设备有序摆放，整个操作车间一尘不染，工作人员身穿洁净服进行操作。目前项目一期洁净间面积达1.6万平方米，预计2025年底能达到月产2万片的目标。

芯片制造类似乐高盖房子，先用晶圆作为地基，再层层往上叠加芯片制造流程，重复若干次，产出相应的芯片。“增芯可以在增城生产第一批芯片产品了。”现场，增芯总经理张亮难掩内心激动。

据介绍，芯片完整的制造流程涉及气相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蚀、离子注入等步骤，分别对应不同设备。举行投产启动仪式，意味着项目已建立起制造系统，整个生产流程能够连贯地运作，后续将通过产品良率提升和产能爬坡，加快产品交付工作。

“随着工业互联网、大数据、物联网等新一代信息技术的快速发展，先进智能传感器芯片大有可为。”张亮表示，产品将主要应用于新能源智能汽车、超高清视频显示、高端装备、5G、人工智能、工业互联网等领域，能极大满足大湾区在相关优势产业领域对半导体及集成电路的庞大需求，加快补齐产业链短板，突破产业关键核心技术，提升产业链供应链稳定性和安全性。

“现代活力核”迎来“芯”景象

作为广州东部中心“现代活力核”的重要承载区，增城加快构建以“芯显车”为主导的现代化产业体系，并在“芯”产业方面不断实现突破，智能传感器全产业链雏形初步形成。

增城在广州集成电路“一核两极多点”中扮演着重要角色，主要聚焦智能传感器和芯片制造领域。在链主企业增芯的牵引之下，增城已引进落户越海、广东微技术工研院、中微广州、智达星空等一批能级高、带动力强的骨干项目。

为推动全产业链条完整集聚，增城同步打造广东省首个获批的智能传感器特色产业园，形成包括增城经济技术开发区核心区组团、电子材料组团、科教城组团、公铁联运组团4个组团，以制造为核心的“一核一圈四组团”空间布局，覆盖生产制造端、装备制造端、创新平台端、封装测试端、材料供应端、芯片设计端、终端应用端，预计到2035年形成千亿级智能传感器产业集群。

当前，增城正全力以赴优化营商环境，大力支持增芯等重点项目建设，做好全链条要素保障，保障项目顺利投产；增城海关加快智慧海关建设，将口岸查验指令调整为由目的地海关到厂执行，配合企业生产流程第一时间到厂检验，做到随到随检，一次开箱、一次验放。

同时，增城积极制定出台和推动各项扶持政策落实，在健全完善产业链条、提升产业创新水平等方面予以政策支持，加快集成电路及智能传感器产业发展，为培育壮大现代化产业体系提供坚实支撑。

文｜记者 马灿 通讯员 增宣图｜通讯员提供