康寧推出 EXTREME ULE® Glass 支援下一代晶片製程

康宁公司。记者李珣瑛／摄影

康宁公司（纽约证券所代码：GLW）–全球领先的玻璃、陶瓷和材料科学创新者，1日宣布推出Corning® EXTREME ULE® Glass，这是一种能够协助晶片制造商满足智慧型装置与AI驱动技术快速增长需求的新材料。这种新材料将帮助晶片制造商改进光罩（用于晶片设计的模板），对于量产现今最先进、最具成本效益的晶片至关重要。

康宁设计的EXTREME ULE® Glass可承受最高强度的极紫外光（EUV）黄光制程技术，包括高数值孔径（High NA）EUV，这项技术正迅速成为产业标准。EUV黄光制程技术允许制造商使用最先进的光罩来对最小、最复杂的晶片设计进行图案化和印刷。该制程需要极高的热稳定性和均质的玻璃材料，以确保制造效能一致。

「随着人工智慧的兴起，对于积体晶片制造的需求日益增长，玻璃技术的创新比以往任何时候都更加重要。」康宁先进光学副总裁暨总经理Claude Echahamian说道：「康宁的EXTREME ULE® Glass将有助于实现更高功率的EUV制造和更高的良率，在追求摩尔定律中扩大康宁所扮演的积极角色。」

EXTREME ULE® Glass的热膨胀特性有助于在所有光罩中提供卓越的一致性和效能。此外，玻璃出色的平整度和均质性大幅降低了光罩波度（waviness），有助于制造商控制不必要的变因，并帮助高阶镀膜的应用。

EXTREME ULE® Glass标志着康宁超低膨胀（ULE）玻璃产品组合的进化，ULE®是一种二氧化钛矽酸盐玻璃材料，具有接近零的膨胀特性，长期以来一直用于EUV光罩和反射镜。透过使用其创新的玻璃成型制程，康宁预期减少生产过程中使用的能源和产生的废弃物，有助于为康宁的永续发展承诺做出贡献。

康宁将于9月30日至10月3日在加利福尼亚州蒙特雷举行的SPIE Photomask Technology + Extreme Ultraviolet Lithography会议上展示EXTREME ULE® Glass和其他创新半导体材料。