隆基绿能获得实用新型专利授权：“一种真空镀膜设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示隆基绿能（601012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种真空镀膜设备”，专利申请号为CN202321652259.5，授权日为2024年1月2日。

专利摘要：本实用新型公开一种真空镀膜设备，涉及太阳能电池制造技术领域。其中真空镀膜设备包括：沿工艺流程依次设置的多个工艺腔室，且相邻的两个工艺腔室之间设置有过渡腔室，过渡腔室的腔内高度小于工艺腔室的腔内高度，且相邻的两个工艺腔室的工作气压不同；真空泵，工艺腔室和过渡腔室均设置有真空泵；承载件，承载件能够支撑并固定工件；输送机构，输送机构能够带动承载件和工件在工艺腔室或过渡腔室内移动。该真空镀膜设备中，过渡腔室内或者过渡腔室与工艺腔室之间均不设置门阀、真空锁等开闭装置，也无需设置限位传感器，在满足工艺腔室不同工作气压的同时，简化了设备结构，降低了设备成本，提高了运行的可靠性。

今年以来隆基绿能新获得专利授权1个，较去年同期减少了75%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了9.76亿元，同比增111.09%。

数据来源：企查查

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