迈为股份取得磁控溅射磁场检测工装专利,提高磁钢磁场强度测量的准确度

金融界2024年8月4日消息,天眼查知识产权信息显示,苏州迈为科技股份有限公司取得一项名为“磁控溅射磁场检测工装“,授权公告号CN221440849U,申请日期为2023年12月。

专利摘要显示,本实用新型涉及磁控溅射技术领域,尤其涉及一种磁控溅射磁场检测工装。该磁控溅射磁场检测工装包括夹紧组件、活动组件和高斯计,夹紧组件的端部与活动组件铰接,夹紧组件被配置为夹紧冷却水管,活动组件呈弧形设置,活动组件所在圆的圆心与圆柱形靶材的圆心重合;冷却水管与磁钢连接,夹紧组件与活动组件限定出容置空间,磁钢和冷却水管均位于容置空间内。活动组件上开设有槽口,高斯计的探头能容置在槽口内,以测量圆柱形靶材表面的磁场强度。该磁控溅射磁场检测工装能够提高磁钢磁场强度测量的准确度,无需现有技术中多次调节冷却水管与磁轭之间的距离,省时省力,提高工作效率,节约成本。

本文源自:金融界

作者:情报员