南科园区再添生力军 微影、中勤实业获准入园投资

南科管理局辖下有台南园区、高雄园区、桥头园区、嘉义园区、楠梓园区及屏东园区，今年截至8月20日止总计引进11家厂商，累计投资金额为234.92285亿元，园区有效核准厂商家数为276家。

本次通过核准入区投资的申请案有微影半导体及中勤实业，微影半导体申请于台南园区投资设立，投资金额为5.5亿元，该公司研发生产半导体曝光机、涂布显影机及检测设备。微影采用LED光源及投影镜头，可达成0.35微米曝光精度，1：10高焦深，且因以LED紫外光为产品光源，耗能约为汞光源的1％，有节能环保及高性价比等特色，此外，公司具备三项产品之集成能力，未来进驻台南园区后，将强化南科半导体产业聚落，并有助于未来国内半导体设备产业国产化之发展。

而中勤实业则申请于高雄园区投资设立南科分公司，投资金额为4亿元，该公司研发生产半导体及光电产业晶圆用载具、电子及其他高科技产业用载具、晶圆载具智能传输设备及晶圆载具清洗循环服务。中勤实业致力于材料研发到载具制造及载具自动化传输设备开发，提供全方位一条龙服务，进驻高雄园区后将扩大载具高分子塑胶材料与智能传输设备之研发量能，以高效塑胶材料及生质油萃取相关技术，提供创新及友善环境之高洁净材料载具，带动台湾绿色循环经济发展及产业创新转型，公司已获半导体龙头大厂之供应商制程改善奖殊荣，另中勤实业也借由与海外微电子研发中心合作，积极拓展国际市占率，未来进驻高雄园区后，将有助于国内半导体材料与设备在地化，同时强化南科半导体产业聚落，并提升台湾全球关键地位。