PSK 申请基板处理装置及电介质板更换方法专利，可调节电介质板安装位置

金融界 2024 年 12 月 26 日消息，国家知识产权局信息显示，PSK 有限公司申请一项名为“基板处理装置及电介质板更换方法”的专利，公开号 CN 119181629 A，申请日期为 2024 年 2 月。

专利摘要显示，本发明提供一种 基板处理装置及电介质板更 换方法。处理基板的装置可 以包括：壳体，具有处理空 间；卡盘，在处理空间支撑基 板；基座板，在处理空间内位 于上部；电介质板，在处理空 间与基板的上表面面对，并 可装拆地提供在基座板；上 部边缘电极，包围电介质板； 下部边缘电极，与上部边缘 电极相向，包围卡盘；电介质 板对齐夹具，当将电介质板 更换为未使用的电介质板 时，将未使用的电介质板的安装位置调节为与电介质板的安装 位置一致，电介质板对齐夹具包括：夹具主体，当从上方观察 时，具有包围电介质板的形状；距离检测构件，检测夹具主体和 电介质板之间的距离，距离检测构件沿着夹具主体的外围方向 在彼此不同的位置设置有至少三个以上。

本文源自：金融界

作者：情报员