浙江求是创芯取得混气接头相关专利，提高混合气体混合均匀性

金融界2024年11月1日消息，国家知识产权局信息显示，浙江求是创芯半导体设备有限公司取得一项名为“混气接头、进气装置及半导体加工设备”的专利，授权公告号 CN 221897355 U，申请日期为 2024 年 3 月。

专利摘要显示，本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了混气接头、进气装置及半导体加工设备，混气接头用于连接第一进气管和第二进气管，混气接头开设有混气腔和连通混气腔的第一进气口、第二进气口和出气口，混气接头可拆卸连接于第一进气管和第二进气管，第一进气管连通第一进气口，且第一进气口和混气腔的轴向夹角小于 90°，第二进气管连通第二进气口，混气接头的内部设置有进气通道且内壁开设有连通混气腔的多个混气孔，多个混气孔绕混气腔的轴向间隔分布，第二进气口经由进气通道连通多个混气孔。本实用新型的混气接头能够由侧壁上环状设置的多个混气孔提高混合气体的混合均匀性，减小进气装置占用的空间体积，提升半导体加工设备对晶圆表面刻蚀均匀性。

本文源自：金融界

作者：情报员