第715章 搞出光刻机,挺直腰杆子(4k)

“狼烟起,江山北望……”

酒店里,喝到烂醉如泥的高媛媛被手机铃声吵醒,迷迷糊糊地抬头找了找,声音来自床头柜上的手机,但手机的主人,不见踪影。

“阿飞。”

高媛媛强撑着下床,走路绵软无力。

“我在这儿。”

陆飞打开浴室的大门,坦荡地冲她笑了下,接过手机,“喂、欣姐。”

高媛媛洗了把脸,然后脱掉衣服,走进淋浴间冲洗自己,流水声哗哗作响。

“好,好,10点我就出发。”

陆飞坐在浴缸里,悠悠道:“欣姐,TVB这边,就麻烦你陪媛媛处理了。”

高媛媛听到这话,精神大振,竖起耳朵。

“……欧洲那边,不用担心,我已经让布洛森24小时盯着,任何风吹草动都要汇报。”

陆飞抹了一把脸。

希腊的国债评级又被惠誉和标准普尔下调,降到了垃圾级,已经到了必须欧盟兜底的地步,终于把债务危机扩散到整个欧元区。

收割欧洲的时刻,马上就要到了!

等两人聊完挂断电话,高媛媛才走出玻璃隔断,幽幽说:“阿飞,我今天就不送你去机场了,唔,有点不舒服。”

“谁让你昨天喝了那么多酒。”

陆飞抓着她的手,拉入浴缸里。

心疼之余,不得不感慨高媛媛醉得真是时候,而且还不省人事,要不然也不能给自己创造机会,夜里能跟曾丽单独庆祝封后之喜。

大满贯最好的奖励,自然也是大满灌。

”下次不会了。”

高媛媛意味深长地白了眼,“曾丽姐她们有没有跟你说今天坐你的飞机去鹏城。”

“说了……吗,我怎么不知道。”

陆飞一个激灵。

“那我现在跟你说,你不会介意吧?”

高媛媛得留下来,跟徐欣完成TVB最后的收购签约仪式,杨蜜、景恬则继续自己的好莱坞征程,而曾丽、刘师师她们回内地。

“怎么会。”

陆飞笑道:“不过我听说师师拍完《步步惊心》之后,状态不对,有没有这回事?”

“蜜蜜、恬恬她们跟你说的吧。”

高媛媛点了下头,“师师可能陷进角色里还没有出来,对吴奇龙的感情有点复杂。”

“这可不符合我们‘四小花旦’的造星计划。”陆飞一本正经地说。

“放心吧,虹姐已经警告过吴奇龙团队。”高媛媛靠在他的怀里,“早餐叫了吗?没有的话,吃了再走吧。”

“当然吃了再走,不过呢,先吃你!”

陆飞嘿然一笑,“把昨天的夜宵补上。”

“呜呜呜~”

跟曾丽她们暂时分别,陆飞坐上车,马不停蹄地赶到逻辑,孙红军早就在门口等候。

“他们人呢?”

“陆总,都在中心呢。”

一行人驱车来到僻静的三体实验基地,沿途布满了安保人员,路的尽头是一间占地上万亩的新建厂房,表面看上去,非常不起眼。

一下车,来到换装间,陆飞就看到已经穿着防尘服的梁孟松、尹志尧,以及职工。

苏姿丰、胡煜华、孟婉舟这些逻辑的上将,即便半步踏入轮值董事会,也没有资格第一时间参观,消息还封锁在最高统帅部一级。

“陆总。”

梁孟松、尹志尧等人喊了一声。

“走吧。”

陆飞换好装备,穿过走廊,墙壁上挂着华夏第一枚原子弹跟氢弹的当天报纸和照片。

头顶,悬挂着一条条横幅,都是激励士气的口号语,其中最显眼的莫过于——

“搞出光刻机,挺直腰杆子!”

“陆总,这就是我们自主研发的65nmArF干式光刻机,由逻辑、沪市微电子、长春光机、华为等多家单位、上千家供应商联合攻克,下一步就是预生产,在生产中不断改进完善,然后逐步实现量产化。”

孙红军兴奋至极,“预计一到两年,就能全部替代掉ASML和尼康的65nm光刻机。”

“还是自己的机器香啊!”

陆飞透过玻璃,看着工作人员有条不紊地操作,余光里注意到尹志尧等人的情绪很不对劲,“这么难得的好日子,你们怎么看上去不是很高兴啊,难道是光刻机还有什么质量上的问题,或者技术上的缺陷?”

“陆总,设备没有问题,技术也没有问题,就是……就是有一个坏消息……”

尹志尧一脸为难。

“什么坏消息?”

陆飞鼓励道:“没关系,说出来,不说出来,我们又怎么想办法解决呢?”

“陆总,ASML研发出了全球第一台EUV光刻机,已经送到三星的研究机构预生产。”

尹志尧无奈地叹了口气。

“你看你,又急。”

陆飞挑了挑眉,倍感意外,这么凑巧!

EUV光刻机的出现,相当于光刻机技术和设备正式发展到第五代,遥遥领先于他们。

第一代光刻机是以436nm的g-line汞灯光源为主,只适用于5μm以上制程。

之后出现了365nm的i-line汞灯光源的第二代光刻机,制程精度来到了350到500nm。

这两代都只能算是接近式光刻机,到了第三代扫描投影式光刻机,才实现了跨越式的突破,把最小工艺推进至150到250nm。

他们生产的65nmArF干式光刻机,算是第四代,也就是步进式投影式光刻机,制程工艺最高可以推进到65nm,想要更上一层——

就得用到浸入技术,也就是让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中,在此基础上,就有了四代半的浸入步进式投影式光刻机。

本来,逻辑跟ASML这些国际一线的光刻机厂商,就只剩ArFi这么个半代差距。

但EUV光刻机一出现,又把这个差距拉到了至少1.5代,而且这个技术差距,不像制程工艺那么好追,是整个产业链的全面落后。

“不是我急,陆总,一旦EUV预生产成功的话,英特尔、三星、台积电也许不出三五年,就能得到EUV光刻机的生产线……”

尹志尧话里无不透着焦虑。

“尹教授,这台EUV,ASML、三星、英特尔、蔡司、台积电它们花了多久才研制出来?”陆飞透过面罩的玻璃,直直看去。

“从林本坚提出浸润式微影技术的理论,到现在,大概十三、十四年。”

梁孟松站出来回答。

“对嘛,这不就结了。”

陆飞拍了拍尹志尧的肩膀,“EUV集欧美日韩这么多全球最顶尖的半导体公司和人才,也要花13年的时间,何况是我们呢!”

“陆总说的没毛病!”

孙红军机敏地当捧哏。

“咱们研究起步晚,技术经验积累少,人才还不够不精,再加上特么的技术封锁,能在这么短的时间,攻克65nmArF干式光刻机,就已经很不正常了,再快就该拍科幻片了。”

陆飞笑道:“落后不可怕,可怕的是不追赶,你看我们现在,已经步入正轨了。” “可不是嘛,快赶上小霓虹了!”

孙红军嘿然一笑。

就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能,在光刻机路线上,不去梭哈湿刻法,而是全力押注干刻法,却失败了,白白耗费人力财力时间。

今后,逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场,先干翻了小霓虹!

“所以啊,尹教授,我知道你很急,但你先别急,ArFi会有的,EUV也会有的!”

陆飞环顾四周,激励士气。

“陆总!”

尹志尧郑重地点了下头,他作为中微半导体的领军人,非常清楚逻辑是两条腿走路,既跟微电子为首的单位合作ArFi光刻机,又跟长春光机为主的科研所研究EUV光刻机。

而且满世界找帮手,比如徕卡。

“老孙,这次的奖励方案做出来了嘛?”

陆飞侧目望向孙红军。

“已经拟出个初步方案,就等您来定。”

孙红军应了一声。

“嗯,但凡这次参与光刻机项目的,哪怕是拧了个螺丝的,也要多发奖金!”

陆飞双手叉腰,“65nm有了,还怕没有ArFi?没有EUV?接下来我们就向32nm、28nm,甚至28nm以下的发起冲击,不管是10年、20年,还是多长时间,也要搞出来!把这颗工业明珠给我摘下来,当弹珠卖!”

“我就是怕耽误了先进制程工艺的进程,毕竟我们买不到最先进的DUV光刻机。”

尹志尧脸上露出一丝愧疚。

“梁博士,你的意思呢?”

陆飞把目光投向梁孟松。

“陆总放心,难度肯定是有的,但我可以保证,32nm,今年下半年就能风险性试产。”

梁孟松话锋一转,说出难题。

芯片代工制造的过程非常复杂,需要多方面的技术和设备支持,就像14nm是个关键的分界线,28nm也是个关键的分界线。

但设备还不是他最担心的,他最担心的是中芯被台积电打倒之后,下一个就轮到逻辑。

“这种情况我不是没有考虑。”

陆飞摆了摆手:“所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电,就是让章忠谋顾虑,既想对付我们,又怕失去我们的订单。”

“可按我对章忠谋的了解,肯定不会善罢甘休。”梁孟松忧心道,“另外还有三星……”

陆飞笑道:“梁博士,三星现在的技术负责人还是蒋尚义,哪怕拿到了EUV光刻机,你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗?”

“没有!”

梁孟松想也不想,“没这个可能!”

“对嘛,就连40/45nm工艺,三星还是靠我们,很难说不会又在一个节点上卡住,难以突破。”陆飞严肃说,“这么一比,台积电才是我们最大的敌人!不管现在,还是将来!”

“台积电那边计划今年过渡到32nm,然后最早在明年转向28nm,我们的进度并不比台积电慢。”梁孟松自信满满。

“梁博士,假如,我是说假如,假如没有最先进的代工厂给逻辑造芯片,假如逻辑还造不出比较先进的光刻机,假如……”

陆飞把前世华为遭到的打压说了一遍。

“陆总,这种极限施压情况下,也不是没有办法,可以考虑多重曝光技术。”

梁孟松沉吟片刻,一一列出优缺点。

尤其是缺点,虽然经过多重曝光工艺,可以改变光刻机的制程极限,但良品率低。

而且每次曝光都需要校准,而对准误差会在多次曝光中积累,进而影响芯片的质量。

“除了损耗,就是成本,多次曝光需要更多的光刻胶、耗材和设备,这个投入可能……”

不等梁孟松往下说,孙红军突然打断。

陆飞和他相视一笑,光刻机的光刻胶等材料,早就纳入备胎计划。

“梁博士、尹教授,我们已经投资了博康化学等十几家公司,研发攻克光刻胶这些重要材料。”孙红军笑说,“而且找了德国的明斯特、亚琛工业等多家高校,跟我们国内的科研院校,合力打破霓虹这方面的优势。”

“啊?”

梁孟松和尹志尧面面相觑。

“这是公司的绝密,注意保密。”

陆飞郑重地叮嘱,现在需要偷偷摸摸地发育,特别是光刻机,最缺的就是发育时间。

“陆总,孙总,你们放心!”

梁孟松信誓旦旦地保证,就算台积电、三星的光刻机领先逻辑,哪怕制程工艺先突破28nm,甚至20nm也无妨,他能想办法从28nm,跨越22nm、20nm,直接到14nm。

把因为光刻机设备和技术封锁而落后的代差跟时间,统统给追回来!

“是不是又要跳代?”

陆飞把眼睛眯成一条缝。

梁孟松点头说:“只要尹总能造出28nm光刻机就够了,别是14nm,就是7nm,我也能你们给搓出来!把光刻机上的劣势给扳回来!就是不知道陆总敢不敢再跟我拼一次?”

“有什么不敢?”

“拼,只管给我拼!不要给我心疼钱,我最不怕花钱,但最怕你们不花钱。”陆飞睨了眼孙红军,“老孙,除了德国,霓虹那边也盯紧点,特别是佳能、尼康的动静。”

“尼康那边好像认命了,倒是佳能,选择了另一条道路,研究纳米压印(NIL)。”

孙红军也说不出个所以然。

陆飞让他再探再报,跟进佳能的NIL路线,然后冷不丁来一句,“光刻厂有没有搞头?”

“什么?!”

梁孟松等人一脸震惊。

光刻厂?

只听过光刻机,光刻厂是什么东西?

“咳咳,我是这么想的,ASML的光刻机,为了卖出去,才要小型化、产品化、量产化,这个难度很大,但如果我们把光刻机不做小,而是当基础设施来盖,比如一个足球场大小,是不是可以弥补光源、镜片这些问题?”

陆飞看他们一脸茫然,于是换种说法。

相当于造不出热水器,就建个锅炉房,然后接水龙头,一次性接十几个,能放出428nm、14nm、7nm这些不同温度的水。

“这个提法,我好像在哪里听过……”

梁孟松吸了一口气,思索了片刻,突然灵光一现,“对,水木!水木大学有篇论文!”

“真有?”

孙红军、尹志尧简直不敢相信。

“不过只是一个概念,叫稳态微聚束加速器光源,也叫SSMB。”梁孟松解释说,“我关注这个,还是因为提出这个概念的教授,是杨振柠先生的弟子,可行性还有待检验。”

“只要有可能,就值得投资。”

陆飞计划去趟水木大学,顺便把自己存那里一直没时间取的EMBA硕士证书给领了。

“陆总,在这之前,我们是不是先去见见章汝京?章总一直在等您从香江回来。”

孙红军提醒了句,年初中芯跟台积电长达六七年的国际诉讼,达成和解,但作为条件之一,章汝京不得不被迫辞职,离开中芯。

“Emmm,见,必须见!”

陆飞叮嘱安排两人见面的行程计划。

有个项目,非他这位老帅不可!

第612章 摊上事了,摊上大事了!(4k)第819章 我们都有光明的未来(4k)第10章 高小姐与猪八戒第403章 你啊你,总是给我整出点新花样第84章 一声“键来”,千万极客来相见第795章 入股ASML的关键一步(4k)第27章 大风起兮云飞扬第507章 风浪越大,鱼越贵(4k)第351章 您是我的恩人!第524章 今年双十一,熊猫来烧香(4k)第74章 放榜之日,湾湾之行第625章 逻辑的“美强惨”(5k祝大家端午节第557章 纵容不是放纵(4k)第159章 考试周,请叫我“过儿”第681章 想学啊你,我教你啊(5k)第329章 社交赛道的“赤壁之战”第129章 强人加盟,陆飞钓鱼第637章 空手套奇梦达(5k)第845章 番外1:鹿云的末路第183章 陆飞大名,从哈佛到硅谷第820章 我鹿云又回来了(4k)第316章 扎克伯格:谁抢了我的域名!第526章 差距怎么就这么大呢!(5k)第335章 华夏20年网文的功力,你挡得了吗?第780章 王思葱的陆叔叔(4k)第199章 逻辑的诞生第38章 今日欢呼孙大圣第62章 2000年的第一场雪第790章 以环保之名审判你(4k)第266章 欺人太甚!太甚!第448章 陆老爷又高又硬(二合一)第597章 华夏最佳商业领袖(4k)第433章 撞南墙第636章 最坚强的后盾(4k)第225章 苹果我吃定了,耶稣也拦不住,我说第388章 来者不善啊第771章 台积电的出击(4k)第639章 陆小鸡露出了小鸡脚(6k)第435章 华夏巴菲特的一顿饭,值!第630章 如来,到底来不来(4k)第690章 肢解诺基亚需要几步(4k)第596章 我誓杀汝(4k)第389章 宣誓主权第564章 上半身思考(4k)第258章 敢问路在何方(精品加更)第288章 我有个上亿的项目跟你谈第693章 飞购时刻,全球第二(5k)第422章 钓鱼佬永不空军第164章 微软入华,春晚招标第749章 似曾相识的仙人跳(4k)第399章 华夏民营企业峰会第284章 三星的准女婿?第362章 金樽共汝饮第656章 首款国产3G基带芯片(4k)第272章 敌人非但不和谈,还胆敢向我还击第265章 毕竟我也不是什么魔鬼第164章 微软入华,春晚招标第217章 我右手拿着lmusic,化身为龙!第383章 说了多少遍,以后叫我夫人!第351章 您是我的恩人!第497章 养寇自重(4k)第594章 好戏上演(4k)第828章 顺风加货拉拉等于什么(4k)第243章 该出手时,就出手啊第666章 败到求饶,气到咯血(4k)请个假第635章 暗潮汹涌(4k)第577章 渣也不对,不渣也不对(4k)第719章 我来我见我留名(4k)第792章 电商三国杀(4k)第292章 你还有多少惊喜是我不知道第602章 造孽啊(4k)第566章 给你的,才是你的(4k)第687章 考验的时候到了(4k)第491章 咳咳,开卷!(二合一)第805章 打车软件北平战役(4k)第836章 继承之战(4k)第655章 小米问世,第一枪响(4k)第77章 小妞,转个圈第600章 造娃与造火箭(4k)第240章 情已沾肺腑,意已惹肝肠第515章 安卓联盟(4k)第6章 袜子也内卷第716章 俱往矣,数风流人物(4k)第117章 互联网江湖,是打打杀杀!第231章 首先是犯下傲慢之罪的索尼(加更)第660章 梭哈是一种智慧(4k)第287章 阿真,你来真的啊?(求月票)第709章 猜疑链(4k)第453章 竖子不足与谋(两合一)第630章 如来,到底来不来(4k)第234章 我跟你们不是一个圈层(二合一)第686章 卧槽,你来真的!(5k)第227章 先挑软柿子捏第531章 华尔街的哈士奇(4k)第93章 有朋自远方来第740章 当曹贼最重要的是什么(4k)第469章 一副耳机引发的血案(4k)第766章 不是你的字节跳动,是我的(4k)第721章 豫南太需要陆老爷了(4k)