1分钟读财经》杀进2奈米 美巨头买最强EUV决战台积电

艾司摩尔（ASML）已投入研发更高精准度的高数值孔径（High-NA）曝光设备，英特尔成为首家下订客户。（示意图/达志影像/shutterstock）

小编今天（20日）精选5件不可不知的国内外财经大事。半导体逻辑先进制程将在2024年后进入2奈米世代，后续制程推进将开始进入埃米（angstorm）时代，为了支援台积电、英特尔、三星等半导体厂的制程延续，微影设备大厂艾司摩尔（ASML）已投入研发更高精准度的高数值孔径（High-NA）曝光设备，英特尔成为首家下订客户，预期2025年进入量产，而台积电将跟进下订。

【1】英特尔买最强EUV 强碰台积电

英特尔19日宣布，向ASML下订业界首台High-NA量产型EUV曝光机EXE:5200，2025年进入生产。设备业界指出，台积电早已向ASML采购High-NA研发型EUV曝光机EXE: 5000，随着位于竹科宝山的2奈米晶圆厂Fab 20开始启动建厂计划，预期2022年内就会跟进对ASML下订High-NA量产型EUV曝光机。