东方晶源微（北京）取得旋转臂及半导体检测设备专利，补偿因多种因素引起的误差确保工具处于合适作业位置

金融界 2024 年 9 月 17 日消息，天眼查知识产权信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司取得一项名为“旋转臂及半导体检测设备“，授权公告号 CN221723957U，申请日期为 2024 年 2 月。

专利摘要显示，本申请属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种旋转臂及半导体检测设备。该旋转臂包括旋转结构、调节结构及套筒结构；旋转结构穿设于套筒结构并用于连接工具，旋转结构能够带动工具转动；调节结构环绕旋转结构布置并设置于套筒结构远离工具的一侧，调节结构用于多方向调节旋转结构的位置以带动工具改变位置。其中，调节结构具备多个方向上的调节自由度，以微调旋转结构的位置，进而补偿因机械结构、装配条件等因素引起的误差，确保工具处于合适的作业位置。

本文源自：金融界

作者：情报员