荷兰拟限制ASML在陆维修和维护半导体设备能力

荷兰拟限制ASML在陆维修和维护半导体设备能力。（图：shutterstock）

据法广引述彭博报导，荷兰计划限制半导体设备制造商艾司摩尔（ASML）在中国维修和维护其半导体设备的能力，这对中方发展世界级晶片产业的努力可能是一个沉重打击。据熟悉内情的人士透露，荷兰首相肖夫（Dick Schoof）领导的政府很可能不会在艾司摩尔某些在华维修和提供备件的许可证于今年年底到期后为其续期。这些要求匿名的知情人士说，相关定预计将涉及艾司摩尔的顶级深紫外光刻机。

艾司摩尔的晶片制造设备是业内最先进的设备，在出售时附带了维护协议，这对设备的正常运行至关重要。取消这种支持可能会导致至少部分设备最快在明年就无法运行。艾司摩尔和荷兰外交部拒绝对此发表评论。

报导称，荷兰政府的决定是在美国施加一定压力后作出的。拜登政府的一位高级官员说，如果这些盟国不同意在对华管制上与华盛顿保持一致，美国政府提出了对伙伴国实施某些单边措施的可能性，包括采取「外国直接产品规则」（FDPR）。

「外国直接产品规则」允许华盛顿控制使用哪怕是最少量的美国原产技术制造的外国产品的流动。除美国外，最重要的晶片制造设备生产国是荷兰、日本和韩国。彭博此前曾报导称，拜登政府威胁要使用「外国直接产品规则」来让盟国加入进来。

前首相吕特（Mark Rutte）领导下的荷兰政府扛住美国施加的增加服务限制的压力，认为需要更多时间来评估高端晶片制造设备出口禁令的影响。由曾担任荷兰情报与安全总局局长的肖夫领导的新政府已表明了对北京的警惕态度。他在本月接受彭博采访时说，荷兰在与中方就国家安全问题进行谈判时必须「非常谨慎」。

当被问及荷兰政府今年是否考虑采取新的出口管制措施时，肖夫说，荷兰与美国和日本进行了「良好的谈判」，并预计谈判将「以良好的结果告终」。

禁止艾司摩尔在华维修其受限制的设备将使该公司受到与美国同行，包括应用材料相同的限制。今年早些时候，美国曾向荷兰政府施压，要求对艾司摩尔的中国业务实施更严格的限制。

中国依靠艾司摩尔的浸没式深紫外光刻机来推动其晶片制造技术的发展，因为中国尚未开发出能够生产尖端半导体的类似设备。中企一直无法购买艾司摩尔最先进的设备，这些设备使用的是极紫外线光刻机技术。这种设备用于生产业内最精密的晶片，包括苹果的iPhone和英伟达的人工智能产品。

如果没有艾司摩尔的深紫外光刻机设备，华为及其合作伙伴中芯国际将越来越难以在其现有能力上取得突破，而其现有能力已落后于行业领导者台积电的产品两代。荷兰政府的举动还可能影响到艾司摩尔的销售额，其中约有一半来自中国。

机器维护在晶片制造厂的日常运营中不可或缺。它是如此重要，以至于艾司摩尔和应用材料等设备供应商都派遣自己的工程师驻扎在包括台积电在内的大客户运营的晶圆厂中，帮助实时解决生产线上的问题。

艾司摩尔首席财务官达森（Roger Dassen）在7月份的财报后电话会议上告诉分析师，该公司在中国客户的晶圆厂中仍有艾司摩尔员工，尽管有些工厂面临更严格的限制。由于美国的出口管制，美企不得不撤走为中国最高端晶片设备提供服务的员工。

晶片制造商获得备件的能力也是确保工厂顺利运营的关键。无法修复损坏的机器，尤其是艾司摩尔的光刻系统，意味艾司摩尔公司很可能被迫减少产量。