见微科技 致力为溅镀产业领航

见微科技致力于提供溅镀产业问题解决方案；图为该公司总经理蔡孟宏（左）与专案经理刘冀阳。图／陈宥学

见微科技是致力于提供溅镀产业问题解决方案的新创公司，其愿景为成为最先进溅镀产业服务业者，连结靶材制造商及靶材使用商成为溅镀产业中最具竞争力团队，发展至今该公司依据溅镀产业上下需求，持续发展各种最尖端新颖的电浆技术。

薄膜制造是一项技术密集产业，广泛应用在科技产品，其中溅镀技术是一不可或缺的关键技术。见微科技总经理蔡孟宏表示，台湾在溅镀（Sputter）薄膜领域已发展多年，已是一个相当成熟的产业，然而溅镀设备中关键的溅镀源（Sputtering Cathode）部件却只依靠国外少数厂商提供。

随着薄膜材料越趋复杂的合金化，溅镀源与溅镀靶材的搭配适切性越趋重要，需透过非常精密的材料与溅镀源磁场设计搭配，在这方面，见微科技已与全球靶材商及台湾光洋科在靶材与薄膜均匀性关系研究，进行多面向合作，成为市场上极具潜力之产品。过去所有发展技术皆是围绕溅镀技术发展，溅镀源又是可称为溅镀设备的心脏部件，故见微科技将此技术列为未来几年的技术发展重点。目前已经成功开发了SC与SCR系列溅镀源提供科研单位设备使用。