拉普拉斯取得一种石英件保护层及其制备方法专利，极大延长石英件寿命

金融界 2024 年 8 月 21 日消息，天眼查知识产权信息显示，拉普拉斯新能源科技股份有限公司取得一项名为“一种石英件保护层及其制备方法“，授权公告号 CN113684468B，申请日期为 2021 年 7 月。

专利摘要显示，本发明公开了一种石英件保护层，所述保护层位于石英件表面，所述保护层的热膨胀系数大小介于石英与镀膜层热膨胀系数之间。本发明还公开了一种石英件保护层的制备方法，所述方法为 LPCVD 方法沉积保护层或/和喷涂烧结的方法沉积保护层；或者所述方法为采用 LPCVD 方法直接生长 SiO2，再逐渐减少供氧物质的含量比例，提高镀膜层物质的比例，直至最后全是镀膜层物质。本发明中，石英件保护层（即过渡层）能够隔离镀膜层与石英件的直接接触；由于过渡层的存在，相互之间的热应力都能降低，极大的延长了石英件的寿命，降低了维护成本和工作量；减少了设备维护工作和时间，提高了设备使用率。

本文源自：金融界

作者：情报员