朗姆研究公司申请用于半导体 RF 等离子体处理的脉冲内的 RF 脉冲专利，产生 RF 波形

金融界 2024 年 11 月 28 日消息，国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“用于半导体 RF 等离子体处理的脉冲内的 RF 脉冲”的专利，公开号 CN 119030506 A，申请日期为 2018 年 11 月。

专利摘要显示，描述了一种用于产生射频(RF)波形的系统和方法。该方法包括定义由不具有开关脉冲的关状态分开的连串的开关脉冲。该方法进一步包括施加多电平脉冲波形，该多电平脉冲波形调整每个开关脉冲的幅值以产生 RF 波形。该方法包括将 RF 波形发送到电极。

本文源自：金融界

作者：情报员