明远强攻半导体电源电浆系统

明远精密科技总经理卢俊宏。图／业者提供

2020年台湾半导体产业于疫情中逆势成长，达20.7％的高成长率，总产值跃升全球第二。因应 5G、Data Center、HPC、AI等应用日趋普及，2021-2024年半导体产业将持续快速成长，也为半导体全球供应链带来重组的契机。

明远精密科技总经理卢俊宏表示：「未来3～4年是台湾半导体供应链全球化最好的机会，除了台湾是半导体代工重镇外，日本、美国和其他半导体设备大厂都思考将供应链往台湾挪移，包括将部分成熟的设备组装生产线移往台湾，主要考量为台湾成熟且可信赖的技术及代工市场客户的就近服务。明远是目前台湾唯一在射频电源、电浆源、臭氧产生器及微波源等关键子系统，具有研发自制及商品化能力的供应商，这些正是半导体设备供应链必备的重要条件。」

明远于2018年底推出与日本技术合作开发的新款射频电源供应器，2019年即成功打入重要半导体代工大厂供应链，此单一产品助攻明远营收连续两年超过30％的成长。明远于今年推出研发自制的臭氧产生器，成功从国际大厂唯一臭氧产生器策略维修供应商，提升为臭氧产生器自主品牌的研发生产制造商。第一款新品将应用在ALD制程，亦计划陆续推出应用于TEOS CVD或TFT臭氧水等高端机款。

接续臭氧产生器，明远新款电浆源已通过经济部A+专案功能验证，将于未来1-2年实现商品化。同步半导体关键子系统开发，明远也参与母公司日扬集团第三类化合物半导体设备开发计划；此外，明远亦掌握电动车市场成长商机，积极布局。

明远精密于新产品计划及全球市场供应链规划完善，针对半导体先进制程之需求亦做到超前部署，具高度成长潜力，未来营运可望更上层楼。