這台EUV究竟有多昂貴？讓台積電嚇到說A16節點不一定用

英特尔奥勒冈厂内，员工正在高数值孔径极紫外光曝光机（High-NA EUV）前进行作业。路透

台积电（2330）主管14日透露，台积电A16先进制程节点不一定需要艾司摩尔（ASML）最新的先进晶片制造设备高数值孔径极紫外光曝光机（High-NA EUV），原因是太贵了。彭博资讯揭露，这一部机器要价超过台币百亿元。

台积电业务开发资深副总经理暨副共同营运长张晓强14日在阿姆斯特丹一场技术研讨会上表示：「价格非常高昂。」「我喜欢High-NA EUV的能力，但我不喜欢它的标价。」

彭博报导，ASML的这款新设备能够用仅仅8奈米宽的线条压印半导体，相较下，前一代机器的线条宽度则高出1.7倍。

售价方面，这款EUV一部售价达到3.5亿欧元（3.8亿美元，新台币约122.6亿元），重量等同于两台空巴A320客机。

ASML是唯一生产用来生产最复杂半导体所需设备的业者，ASML产品的需求是半导体产业景气的晴雨表。

英特尔已经采购了ASML这款最新的High-NA EUV设备，而且在去年12月底，第一台设备就已运往英特尔奥勒冈厂。

张晓强说，台积电所谓A16先进制程节点（预定2026年稍晚量产）不一定需要使用ASML的High NA EUV设备，而且可以继续仰赖台积电已有的较旧款EUV设备，「我认为目前，我们现有的EUV能力应该有办法支援了」。

张晓强表示，使用新的ASML技术，将取决于它在何处最具经济效益，以及「我们能够达成的技术平衡」。他不愿透露台积电何时将从ASML采购High-NA EUV。

制造先进导体正面临成本上升、技术更加复杂的局面。英特尔面临的挑战尤多，还大力推动进军晶圆代工市场，想切入台积电称霸的晶圆代工市场。英特尔周一（13日）宣布晶圆代工服务事业迎接新的总经理，这是该部门自2021年成立以来的第三位负责主管。

张晓强表示，营运晶圆厂的成本，包括营建、工具、电力和原物料「持续上涨」「这是整个产业面临的集体挑战。」