美打压爆破口？中芯7奈米出货竟不用EUV 台积电老将1句神分析

中芯低调出货7奈米晶片，外媒认为是复制台积电的7奈米技术。（示意图/达志影像/shutterstock）

大陆晶圆代工龙头中芯近年遭受美国政府制裁，无法取得打造先进制程的极紫外光（EUV）微影设备，但外媒报导，中芯采用7奈米制程生产比特币挖矿晶片，消息一出，引发外界关注，更好奇没有艾司摩尔（ASML）的EUV，中芯如何做出7奈米晶片。台积电前研发副总、浸润式微影之父林本坚之前表示，以中芯来说，不一定要用到高阶昂贵EUV机台，以现有设备应该能做到5奈米制程，但技术研发是否到位很重要。

研调机构TechInsights报告指出，从比特币挖矿业者MinerVa旗下产品的SoC晶片，发现采用中芯7奈米来制造，这款晶片2021年7月起就开始出货，进一步分析，中芯7奈米技术可能是复制台积电7奈米制程技术。

美国极力阻止大陆半导体崛起，要求艾司摩尔不要卖给大陆EUV微影设备，如今中芯能使用现有设备生产 7 奈米晶片， 甚至向更先进5奈米制程推进。TechInsights认为，中芯若提升良率，撑起经济规模，有机会超越格芯，成为全球制程技术排名第三的半导体代工厂。

由于生产设备和材料取得不易，加上华为遭美方打压的惨痛教训，中芯扛着大陆半导体自主化的重责大任，近来行事作风也转趋低调，制程发展也不再全面公开。

目前在半导体制造产业中，只有台积电、三星等导入EUV设备先进制程技术，并进入规模量产，台积电3奈米预计在2022年下半年量产，而受到美国制裁的中芯，外界对其印象仍停留在14奈米以上节点。

中芯没有EUV机台，先进技术就无法推进吗？Digitimes科技网报导，台积电前研发副总林本坚认为，微影技术及产能的投资成本很高，以中芯来说，不一定要用到高阶昂贵EUV机台，以现有设备应该能做到5奈米制程，但技术研发是否到位很重要。

艾司摩尔除了不卖EUV给大陆，美国还施压要求停止向大陆出售深紫外光（DUV）微影设备。尽管DUV不是最先进的晶片制造设备，但对制造各种电子产品所需要的晶片来说，仍是不可或缺的。

报导指出，半导体业者表示，DUV机台多用在成熟制程晶片生产，中芯若想迂回以DUV多重曝光，来达到与EUV的13.5奈米波长等效，在整体成本与良率上，将付出更高昂代价。