博士门 大秀奈米级光罩储存柜

精密洁净奈米级光罩储存柜。图／博士门提供

专业控湿设备厂商博士门今年将参与「SEMICON Taiwan国际半导体展」，于9月14日至16日在台北南港展览馆一馆1楼智慧能源管理专区，展示半导体各式光罩氮气柜、PCB台车系列、监控系列2HTDP、手套柜，以及今年刚获得第19届国家品牌玉山奖「最佳产品类」的专利奈米级光罩储存柜。

台湾拥有全球最强大及最具竞争力的半导体供应链，在先进制程中，最需要半导体设备厂商提供先进精密设备，以解决生产速度及产品良率的双重挑战。

博士门「精密洁净奈米级光罩储存柜」提供奈米级光罩一个洁净及干燥储存空间，进而大幅提升晶圆制造的良率及技术竞争。

此设备以独立的湿度值回馈，确保每一个奈米级光罩盒内有氮气进出，确实执行干式清洁及保持光罩盒内干燥，并以湿度值设定，氮气智慧节能系统来控制氮气「启动」与「关闭」，经工研院检测确实可节省80％以上氮气流量，降低生产成本，符合环保节能的绿能规范，而可视化氮气及温湿度显示及记录功能，可大幅提高保存的可靠度及效度，利用RFID扫描光罩盒之TAG确认内装光罩资讯，独立监控每一个光罩盒保存柜位内的进出状态。

博士门以「控湿专家」、「环保节能」等环境控制技术专业作为产品核心价值，拥有软体、韧体及机构专业研发团队，30年来经过积极的品牌推广及落实，成功为各产业客户解决其各种保存问题，产品性能优异，让客户更能落实ESG永续发展的趋势。