全球首創！俄烏戰爭致氖氣價格飆漲 三星擬用回收氖氣製造晶片

三星计划明年起在晶片生产过程中使用回收氖气。路透

俄乌战争导致氖气价格飙涨，为此三星电子计划明年起在晶片生产过程中使用回收氖气，为全球首创；此举可削减氖气这种稀有原料的取得成本并稳定供应，以及降低三星的碳足迹。

南韩经济日报报导，产业消息人士说，三星电子已在不损害晶片品质的情况下，成功于大规模晶片生产中采用回收氖气。受到这项成果的鼓舞，三星计划明年起把回收氖气用于晶片制造，为举世首创，预计可满足75%微影制程中的氖气需求。

氖气是惰性气体，广泛应用于半导体产业和面板业，是微影制程中的必要原物料，用于产生把电路图转移到基板的雷射光。

三星以往只仰赖进口氖气，主要供应来源为乌克兰、俄国与中国大陆。但自从2022年俄乌战争爆发后，氖气价格因供应短缺飙涨，在2021~2022年从每公升58美元狂飙到1,612美元。受价格震撼冲击，三星寻求其他供应来源，包括从雷射产生的废料回收氖气。

三星计划利用回收氖气，以降低记忆晶片和晶圆的生产成本。该公司已联手南韩本地的原物料业者，研发可立即投入晶片生产的高品质回收氖气，在三星完成气体回收后，再交由合作伙伴纯化。

此举有望大幅降低三星的氖气进口需求，该公司每年进口数十万公升的氖气。由于氖气相当稀有，这项回收过程可望稳定供应，为重度倚赖氖气进口的南韩晶片产业带来利多。