上海衍梓智能申请半导体工艺参数处理专利，减少对操作人员依赖

金融界2024年12月18日消息，国家知识产权局信息显示，上海衍梓智能科技有限公司申请一项名为“种半导体工艺参数处理系统与方法”的专利，公开号CN 119126725 A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本发明公开了一种半导体工艺参数处理系统与方法。上述参数处理系统和反应腔配合设置，其包括半导体设备功能模块、内存储有多个工艺配方的工艺配方数据库、设备参数数据库、输入单元以及工艺参数确定模块。设备参数数据库内存储有半导体设备功能模块根据工艺配方设置的实际参数。其中，实际参数=输出数值+补偿数值。本发明于生产配方与半导体生产设备具体参数之间建立关联，使得工艺要求的参数与实际运行工艺的半导体设备的功能模块的自身的性能参数相关联，从而在实施具体工艺时，快速确定当前工艺配方中半导体设备功能模块的实际需要设置的参数，减少对具体操作人员的依赖的目的，保证产品质量的稳定性，提高生产效率。

本文源自：金融界

作者：情报员