台积电2奈米 宝山建厂启动

台积电3奈米及2奈米先进制程布局

晶圆代工龙头台积电位于竹科宝山二期的2奈米晶圆厂Fab 20建厂计划启动，竹科管理局局长王永壮20日表示，竹科管理局已将部分用地租予台积电，台积电将可展开整地作业，估计最晚将于6月取得所有用地。另外，世界先进评估兴建12吋厂且有意进驻铜锣园区设厂，王永壮表示待环差案通过将进行用地分配。

■竹科宝山将成2奈米重镇

王永壮表示，竹科宝山二期扩建计划进展顺利，经过几十次沟通，已有超过九成的地主同意价购征收，新竹县政府将于4月底公告征收，估计最晚将于6月取得所有用地。同时，管理局3月已将部分用地租予台积电，台积电可以展开整地作业。

台积电预计在竹科宝山二期兴建Fab 20超大型晶圆厂，未来将成为2奈米生产重镇。设备业者指出，台积电Fab 20厂区将分为第一期到第四期、共兴建4座12吋晶圆厂，预计2024年下半年进入风险性试产，2025年进入量产。台积电2奈米制程将采用奈米层片（Nanosheet）的环绕闸极（GAA）电晶体架构，技术开发进度符合预期。

台积电2奈米之后的更先进制程将进入埃米（angstorm）时代，业界预期，台积电后续将推进到18埃米（1.8奈米），但尚未决定设厂地点。设备业者评估，台积电2奈米需求强度若优于预期，竹科用地不足，将可能转赴台中建立2奈米及18埃米等先进制程晶圆厂，中科二期用地已纳入考虑。

台积电去年进入2奈米N2制程技术的开发阶段，着重于测试载具设计与实作、光罩制作及矽试产等，主要进展在于提升基础制程设定、电晶体与导线效能。在微影技术部份，台积电研发组织借由提升晶圆良率达到可靠影像以支援3奈米试产，并提升极紫外光（EUV）的应用、降低材料缺陷与增进平坦化的能力，以支援2奈米技术的开发。

■世界可望进驻铜锣园区

另外，王永壮透露，世界先进有意进驻铜锣园区设厂，待环差案通过，将进行用地分配。由于8吋晶圆设备价格愈来愈昂贵，同时许多设备厂已停产8吋设备，无法找到完整设备兴建新的8吋晶圆生产线，因此，世界先进董事长方略于日前法人说明会中曾指出，世界先进后续若要盖新厂，的确会以12吋晶圆厂为首选。

方略当时提及，世界先进兴建12吋厂尚无时间表，要等到目前晶圆五厂的8吋晶圆量产后，才会评估是否兴建12吋厂，另外，12吋厂为全新建置的生产线，世界先进评估会希望以新竹或台湾其他区域为主。