台积电 加速兴建2奈米晶圆厂
台积电已经启动2奈米技术研发并开始新晶圆厂兴建计划,2奈米晶圆厂预计会落脚在新竹与台中科学园区,共计有六期工程。根据台积电公布资料,台积电在竹科宝山二期兴建的2奈米超大型晶圆厂Fab 20,将会兴建第一期到第四期共四座晶圆厂,台积电正在争取中科台中园区扩建二期开发计划建厂用地,会再兴建二座2奈米晶圆厂。
设备业者推估,台积电2奈米共六座晶圆厂的投资总金额将超过1,200亿美元,约折合新台币3.6兆元,会是台湾科技业有史以来规模最大的投资案,这也是台积电没有调降今年资本支出的关键原因之一。台积电虽然面对地缘政治风险,已在中国、美国、及日本设厂,也计划在欧洲投资,但台湾仍会是最先进制程的最优先选择。至于2奈米进度部份,台积电在日前召开的2023年北美技术论坛中,宣布2奈米技术开发进展良好,在良率与元件效能上皆展现良好的进展,将如期于2025年量产。相较3奈米加强版N3E制程,2奈米在相同功耗下速度最快将可增加至15%,在相同速度下功耗最多可降低30%,同时晶片密度增加大于15%。
台积电2奈米将采用奈米层片(Nanosheet)的环绕闸极电晶体(GAAFET)架构,也可望成为业界首度采用高数值孔径(High-NA)极紫外光(EUV)微影技术的先进制程节点。