台积电超杀利器！ASML最强机台天价曝光 大到用三架747运送

台积电、英特尔、三星展开先进制程大战，也让半导体设备商ASML新一代EUV机台飙出近120亿台币天价。（示意图/达志影像/shutterstock）

近年来，台积电、三星、英特尔在先进制程大战打得火热，为抢下晶圆代工市场，对极紫外光（EUV）设备需求大增。外媒报导，独家供应半导体微影设备大厂艾司摩尔（ASML）新一代 High-NA EUV 设备飙出新天价，由于机台比前一代还要大30%，至少需要三架波音 747分批运送，预估一台要价约 4 亿美元（约台币119亿元）；有专家形容，买下High-NA EUV 设备就像拥有一把好枪，能抢得市场先机。

路透报导，ASML表示，去年第 4 季High-NA EUV设备订单已有5台 ，预计于2024年交付。先前业内人士推估，下单一台动辄上百亿台币的最新EUV 肯定是大咖客户，包括台积电、英特尔和三星。

ASML新一代 High-NA EUV 设备，因为精密度更高、设计零件更多，比前一代体积大 30% 左右，重量超过 200 公吨的双层巴士大小，至少需要三架波音 747 分批运送，估每台价格4 亿美元。将用于生产下一代晶片，晶片终端领域可涵盖手机、笔电、汽车、AI 等。

微影制程技术是决定晶片上电路有多小的关键决定因素，High-NA有望减少66%尺寸大小。在晶片制造中越小越好，因为在同一空间中封装的晶体管越多，晶片的速度就越快、能效越高。

产业调查机构 TechInsights专家 Dan Hutcheson 认为，High-NA EUV机台可为一些晶片制造商带来显著优势，有点像谁拥有最好的枪，谁就能抢得先机。一旦错失这设备，将从此失去竞争力。

台积电今年拉高资本支出至400～440亿美元，相关支出多数用于先进制程，除了加速建厂2奈米及更先进制程晶圆厂，也极积投入相关半导体设备预订采购。