台积电机台改造 年减碳排4473公吨、省电891万度

台积电。（图／shutterstock）

国发会于30日宣布台湾2050净零碳排路径图，台积电也强调将积极实践绿色制造，优化制程能源使用效率，台积电昨日宣布，携手设备供应商针对测试机台开发「智能压缩干燥空气（Compressed Dry Air，CDA）流量控制系统」，透过精准控制压缩干燥空气流量输出开关，不仅节省测试机台70％ CDA的用量，同时达到省电效果，每年可减少碳排放量4473公吨、省电891万度。

台积电董事长刘德音日前指出，我国近期气候变迁法修法将2050净零碳排目标纳入其中。要如何达到净零碳排目标，并因应欧盟将实施之碳边境调整机制，将是半导体界未来几年面临的最大挑战。

台积电昨日宣布开发出新技术，可撷取测试机台参数精准控制压缩干燥空气输出，省量又节电，台积电指出，晶圆测试的目的为确认每片晶圆的可靠度与良率，依不同测试环境需求，部分测试机台由厂务系统全时段供应压缩干燥空气以确保低温时仍保持干燥，维持测试环境的稳定性。

因半导体制程快速演进使测试需求持续增加，为提升机台运作与压缩干燥空气使用效率，测试营运处于民国前年第3季启动「智能CDA流量控制系统开发专案」，与设备供应商合作改造测试机台管路、控制阀件及控制软体系统，透过撷取机台参数，可依据测试环境需求自动控制CDA流量开关，非低温测试环境时即关闭控制阀，达到有效节省CDA用量与电力的效益。

台积电预计今年第4季完成先进封测厂既有针测机系统全数更新，并将智能CDA流量控制系统列为新建先进封测厂测试机台标准设计，预估至2026年可年省4000万度电、减碳20080公吨，相当于52座大安森林公园1年的二氧化碳吸附量。