台积扩大再生水应用 纳2奈米厂区

台积电致力推动水资源永续管理，积极落实制程节水与废水分流，厂区水回收已达一滴水使用3.5次的成效。为精进用水效率，台积电投入再生水技术发展，携手政府单位开发符合自来水供水标准的民生废水再生流程及工业废水回收技术，并与中鼎集团合作打造全球首座工业再生水回用至半导体制程的再生水厂，今年9月台积电南科再生水厂完工并正式通水，年底前每日可供应1万公吨工业再生水，朝多元水资源循环再生的永续目标迈进。

水的品质、纯度与稳定来源对晶片生产过程至关重要，为更善用每一滴水资源，台积电于2015年起投入再生水技术研发，建置模厂并以实厂废水进行测试，透过反复调整处理程序强化水质。

有鉴于先进制程洁净度需求提升与系统运转优化，为使再生水品质符合制程规格，台积电亦集结工研院、中鼎、台湾大学、阳明交通大学等产官学界力量，开发导入低能耗生物处理、低能耗污泥处理、高效能尿素去除等创新技术，并与台南市政府及南部科学园区管理局合作建置供水模式，借由多重且即时自动化水质监测，确保再生水供应品质。

台积电南科再生水厂是南科厂区再生水制造、侦测与供应中心，除回收南部科学园区污水厂放流水以产制工业再生水外，并于永康及安平污水厂市政再生水进入厂区前把关水质。目前台积电亦投入研发以废热进行浓缩废水回收与污泥资源化技术，避免浓缩废水外流，进一步降低环境冲击，预计2026年南科再生水厂产能将提升至每日供水3.6万公吨，持续降低自来水用量需求并友善环境。

拓展多元水资源为台积电水管理永续发展的重要策略，台积电将持续扩大再生水应用范围，今年已启动竹科再生水厂专案，预计2025年每日可供应工业再生水1万公吨，导入2奈米制程厂区，并配合市政再生水供应，未来可达成竹科新建厂区100％使用再生水，目标于2030年台湾厂区再生水替代率达60％以上。