微影半导体 推LED光源投影曝光机

微影半导体董事长胡德立（前排左五）与贵宾出席产品发表会。图／微影半导体提供

微影半导体公司（Lithography Semiconductor Equipment Co., LTD）日前在台南科学园区举行盛大的产品发表会，正式推出全球第一套采用LED光源投影曝光机的半导体晶片解决方案，为全球半导体产业带来了一场革命性的突破。

这套创新的曝光机，是由微影半导体的创办人胡德立领导的国际团队在英国自主研发的成果，经过了多年的努力和挑战，终于在今年成功地通过了台湾半导体客户的验证，并获得了预约生产的多套订单。

微影半导体产品发表会吸引众多的媒体，政府部门和业界人士的关注，他们对这套创新的曝光机表示了高度的赞赏和期待。

这套曝光机的优势：1、全球晶片生产首创采用LED紫外光源，相较于传统使用的剧毒汞灯，能耗仅为1/100, 不仅节能，也减少了汞污染。2、自研高景深长焦镜头配合LED光源，不但照度超越汞灯系统，还可实现GHI线快速分割及合并曝光，可大幅提升曝光品质和效率，从2吋到12吋的晶圆尺寸，双面对准系统等，适应各种半导体制程的需求。3、涂布显影、曝光、检测三大黄光核心制程技术完全由国人主导自主研发，并将于台湾设厂生产制造，提供客制化「半导体黄光曝光生态平台」Turn-Key服务。

微影半导体创办人胡德立表示，这将是一种高效并且环保的新一代半导体生产设备，将为台湾半导体产业带来巨大的竞争优势和市场机会，期盼与更多的合作伙伴分享微影半导体的创新成果，共同推动全球半导体产业的发展。