新时达：公司半导体机器人已批量应用于国内多个晶圆厂产线

财联社10月14日电，新时达在互动平台表示，目前公司半导体机器人已批量应用于国内多个晶圆厂产线，公司与国内半导体设备公司就机器人研发达成了相关合作，目前公司半导体机器人应用能够覆盖热处理、清洗、刻蚀、薄膜、黄光、减薄、键合等半导体前道和后道工艺制程。