奕瑞影像申请用于植球的晶圆载具及方法专利,提高工艺的稳定性和可靠性

金融界2024年11月11日消息,国家知识产权局信息显示,奕瑞影像科技(太仓)有限公司申请一项名为“种用于植球的晶圆载具及方法”的专利,公开号CN 118919473 A,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,本发明提供一种用于植球的晶圆载具及方法,晶圆载具包括植球治具、翻转治具和固定治具,植球治具和翻转治具用于装载待植球晶圆,固定治具用于将待植球晶圆固定在焊线机上。在利用本发明提供的晶圆载具进行植球时,先将晶圆切割成半圆形的待植球晶圆,再将待植球晶圆装载在晶圆载具中进行植球,一方面,避免了整片晶圆在拿取过程中容易出现的破片的问题,提高了工艺的稳定性和可靠性;另一方面,植球完成后再将其切割成多个单粒芯片,解决了单个芯片植球过程中无法吸住芯片的问题,确保了芯片在植球过程中的安全性。

本文源自:金融界

作者:情报员