英特尔实验室在整合光子研究取得进展
英特尔实验室资深技术总监荣海生表示,这项新研究展示出达成良好的匹配输出功率的可能性,以及均一且高密度的波长间距。更重要的是,可透过英特尔晶圆厂现有的制造与制程控制来完成。
在这项研究之中,英特尔于三五族晶圆接合制程之前,使用先进的微影技术在矽当中定义波导光栅(waveguide grating)。与3吋或4吋三五族晶圆厂制造的传统半导体雷射相比,这项技术达成更好的波长均一性。此外由于紧密地整合雷射,该阵列在环境温度变化时也能够维持其通道间距。此外,作为未来的光学运算互连小晶片(chiplet)产品的一部分,8波长整合雷射阵列技术的许多方面正由英特尔矽光子产品部门实作当中。
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