应用材料公司取得用于原子层沉积（ALD）温度均匀性的热解氮化硼（PBN）加热器专利
金融界2024年11月9日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司取得一项名为“用于原子层沉积（ALD）温度均匀性的热解氮化硼（PBN）加热器”的专利，授权公告号 CN 111742401 B，申请日期为 2019 年 2 月。
本文源自：金融界
作者：情报员
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