明阳薄膜申请均匀沉积蒸镀装置专利,能够形成较大面积且均匀的沉积蒸镀膜层
金融界2024年10月26日消息,国家知识产权局信息显示,广东明阳薄膜科技有限公司申请一项名为“一种均匀沉积蒸镀装置”的专利,公开号 CN 118814115 A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本发明公开了一种均匀沉积蒸镀装置,包括壳体、第一孔筛件、第二孔筛件、第一加热组件以及蒸镀载具,壳体内设有蒸镀腔以及气化腔,气化腔位于蒸镀腔的上方,第一孔筛件设置有多个第一微孔,第一微孔分别连通蒸镀腔和气化腔,第二孔筛件设置在壳体并且位于气化腔中第二孔筛件限定出储料腔,第二孔筛件设置有多个第二微孔,第二微孔分别连通储料腔和气化腔,第一加热组件设置在壳体并且位于气化腔中,第一加热组件发热能够使得蒸镀物料气化并且气化的蒸镀物料能够通过第一微孔和第二微孔,蒸镀载具用于放置待蒸镀的基材,第一孔筛件位于蒸镀载具的上方;本设计能够形成较大面积且均匀的沉积蒸镀膜层,优化蒸镀效果,提高生产效率。
本文源自:金融界
作者:情报员