微导纳米申请一种真空镀膜设备及其控制方法专利，有利于提高所形成薄膜的性能

金融界 2024 年 7 月 19 日消息，天眼查知识产权信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种真空镀膜设备及其控制方法“，公开号 CN202410705021.7，申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示，本发明公开了一种真空镀膜设备及其控制方法，真空镀膜设备包括基片台、顶针和封孔件，基片台位于真空腔室内用于放置基片，基片台设置有多个过孔，顶针与过孔对应设置，顶针可升降运动，且顶针可穿过过孔以承托基片，封孔件活动连接于基片台或顶针，封孔件在活动中能够打开或关闭过孔，且封孔件的活动与顶针的升降运动相联动。本发明的真空镀膜设备通过结构上的改进，优化了工艺开发过程中顶针位置处的工艺表现，有利于提高所形成的薄膜的性能。

本文源自：金融界

作者：情报员