迈为股份取得真空镀膜设备的加热器及镀膜设备专利，可以对大尺寸镀膜基板各位置进行差异性加热，有效缩小同一基板上硅片之间存在的温差，提高镀膜均匀性

金融界2024年6月4日消息，天眼查知识产权信息显示，苏州迈为科技股份有限公司取得一项名为“一种真空镀膜设备的加热器及镀膜设备“，授权公告号CN221071630U，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本申请公开了一种真空镀膜设备的加热器及镀膜设备，属于真空镀膜领域。一种真空镀膜设备的加热器，该加热器包括加热板，所述加热板包括四周区域和中间区域；所述四周区域的表面全覆盖式设有用于改变加热板四周区域热辐射率的第一图案化层；所述中间区域的表面部分覆盖式用于改变加热板中间区域热辐射率的第二图案化层；所述第一图案化层和所述第二图案化层为氧化层、喷涂层或者镀膜层。本申请可以对大尺寸镀膜基板各位置进行差异性加热，有效缩小同一基板上硅片之间存在的温差，提高镀膜均匀性。

本文源自：金融界

作者：情报员