广东汇成真空申请倒挂镀膜的磁控溅射镀膜机专利,能保证镀膜质量
金融界2024年12月4日消息,国家知识产权局信息显示,广东汇成真空科技股份有限公司申请一项名为“一种倒挂镀膜的磁控溅射镀膜机”的专利,公开号 CN 119061370 A,申请日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显示,本发明公开了一种倒挂镀膜的磁控溅射镀膜机,其包括真空镀膜室,在真空镀膜室的侧壁上设有产品送入口和密封闭合门,真空镀膜室的中部设有公转架,在公转架上设有倒挂式自转架,倒挂式自转架包括升降机构、提升轴、插销锁定机构和转轴,转轴由公转架内的同步电机带动转动,转轴的下端设有第一定位结构,转轴设有中部通孔提升轴穿于中部通孔中提升轴的下端设有对接结构,上端与升降机构连接,插销锁定机构能够对提升轴进行锁定;磁控溅射镀膜机还包括工件架,工件架的上面设有第二对接结构和第二定位结构,工件架用于固定产品,溅射源设在真空镀膜室的底部。本发明能避免真空镀膜室内脱落的膜层及其他异物掉落到产品上,保证了镀膜质量。
本文源自:金融界
作者:情报员