ASML不卖没在怕！陆首台国产28奈米机台快交货 拚上市第一股？

陆半导体界传出，上海微电子预估在今年底将交付首台国产28奈米浸润式光刻机。（示意图/达志影像/shutterstock）

拜登政府10月公布最新晶片禁令再收紧，艾司摩尔（ASML）自2024年元月起，将有三款DUV禁止出货给中国，此举反而刺激大陆成熟制程设备加速国产化。陆半导体界先前传出，上海微电子预计在今（2023）年底将交付首台国产28奈米浸润式光刻机（曝光机、微影设备），如今又有消息称，被视为国产光刻机第一股的上海微电子计划在A股挂牌，但辅导其上市的券商透露，目前仍存在主要问题及解决方案，看来上市进度不如预期。

芯智讯、证券日报报导，美国对先进晶片设备出口大陆祭出严苛限制，仍阻档不了大陆国产光刻机持续发展。上海微电子是大陆唯一掌握设计、整合整机的制造商，也是大陆光刻机走向自主化的一个缩影，目前90奈米制程光刻机已可量产，传出今年底将交付首台国产28奈米浸润式光刻机。

而去年底官方公布华为一项名为「反射镜、光刻装置及其控制方法」的新专利，未来能在EUV光刻机核心技术上取得的突破性进展。另外，华中科技大学研制的OPC系统、哈尔滨工业大学研制的镭射干涉系统等，也各自有所突破。将加快推进14 奈米、7奈米甚至更低节点的光刻机研发工作。

近日，中信建投揭露上海微电子首次公开发行股票并上市辅导工作进展报告，截至目前，上海微电子已经建立相对规范的公司治理结构和内部控制体系，与上市公司标准相比客观上仍有一定差距，财务规范性仍需进一步完善。

中信建投指出，前期辅导工作中发现仍存在主要问题及解决方案，例如，辅导对象（指上海微电子）募款投资项目计划及募款需求计算尚未规划完成。

关于下一阶段辅导工作，中信建投称，针对辅导中的不规范之处及仍存在的问题，与公司及其他中介机构研究协商，确定下一阶段的整改方案，并指导公司加以落实，并对落实情况进行密切追踪检查。

上海微电子第一大股东为上海电气控股集团，持股34.9099%；第二大股东为上海科技创业投资有限公司，持股14.4434%。