老美不给卖EUV机台...营收恐不妙 ASML这点卡关无法出货陆厂

半导体设备大厂ASML。(图/达志影像)

美中科技战持续，如今连南韩记忆体大厂SK海力士打算升级在无锡工厂的生产效率，本于今年7月就宣布采用极紫外光(EUV)微影设备、生产第4代10奈米等级的1a 奈米制程，但传出遭到美国政府反对荷商艾司摩尔(ASML)出货EUV机台。ASML从不能出货给陆企，到现在甚至连外企采购但要运往大陆都受到影响，主要跟ASML的产品零组件外包模式有关。

SK 海力士今年 7 月宣布，将采用EUV机台，量产 8GB 容量 LPDDR4 行动装置用 DRAM，并预计在未来运用在所有1a 奈米制程的DRAM 生产，确保品质稳定，并预计在2022年初，采用1a 奈米制程生产DDR5 产品。无锡厂月产能18 万片，采 1Y 奈米制程，主要生产DDR4产品，并占SK 海力士DRAM 产能一半，SK海力士则是占全球市占率15%，如今可却遭到美方阻挠，让无锡厂的升级计划可能受阻，进而让DDR5市况也跟着冲击。

消息一出后，马上引来大陆官媒《环球时报》引述韩媒《民众的声音》分析表示，美国继插手英特尔的业务后，又开始控制同盟国在大陆生产的事宜，美国如果继续以这种方式干涉，韩企将蒙受巨大损失。美国贸易代表戴琪则是被问及，美国政府对陆企限制是否会扩大至半导体产业之外的领域，戴琪强调，国家安全虽与军事和国防有关，但涉及的范围可能会更广，被《首尔新闻》分析，这番言论显示美国对大陆进出口限制的态度，恐怕会扩散至其他产业领域。

大陆晶圆代工龙头中芯国际2018年跟ASML订购EUV机台，但受到川普政府给予荷兰政府压力，最终该笔订单告吹，并于今年3月宣布双方已经重新签订一笔12亿美元的深紫外光(DUV)微影设备订单，期限到今年底，但至今也没有下文。

虽然ASML当时指出，EUV机台要出口至大陆，必须依照《瓦圣纳协议》规定，如今也要等待荷兰政府重新审核许可。但实际上，ASML的营运强项就是将设备模组化，并专精主要核心零组件，其余外包给个模组厂商制造，ASML供应商约有 5000 家，ASML受到的冲击，对于该公司供应链都有相关影响。其中，在2012年收购美国微影光源公司Cymer，并依照该公司雷射电浆（laser-produced plasma，LPP）技术来产生波长为13.5 奈米光源，成功开发出EUV机台，该机器也成为摩尔定律持续的关键，台积电、英特尔以及三星电子发展先进制程也对其需求相当强劲。

但也因如此，当时ASML要出货给中芯国际EUV机台，其中含有美国半导体技术，让ASML须事先获得美国政府的核准迟迟无法过关，ASML全球副总裁、中国区总裁沈波近日指出，除了EUV机台无法对大陆客户出货之外，其他产品都正常供货。

随着大陆在今年成为ASML第三大市场，但在美国禁令拖累下，ASML的EUV机台无法进入大陆市场，ASML高层表示，预计2021年度在大陆的销售额达20亿欧元，较前一年大减超过1成。

ASML虽然也承认过，美国政府透过出口管制是解决有针对性、国家安全问题的有效工具，但在如今全球晶片短缺的困境下，可能会造成伤害，这也会造成该公司成本增加、影响获利前景等问题，甚至回过头来伤害到美企。