ASML曾答应卖EUV 大陆却拿不到 惊人内幕曝光

基于商业之外的原因，ASML无法向大陆市场出口EUV，尽管它曾一度差点卖给中芯国际，但最后又被封杀搁置。（图/达志影像/shutterstock）

由于目前世界上能够制造EUV（极紫外光刻机）的公司，只有一家荷兰光刻机巨头艾司摩尔（ASML），而EUV是先进制程必须的关键设备，每台造价约1.3亿美元(约37亿元新台币)，因此成为半导体大厂在先进制程之争的关键资源。虽然ASML进入到大陆市场已经超过30年，但基于商业之外的原因，ASML无法向大陆市场出口EUV，尽管它曾一度差点卖给中芯国际，但最后又被封杀搁置。

根据大陆《雷峰网》报导，大陆一直是ASML在全球范围内最重要的市场之一。按照ASML全球副总裁、大陆区总裁沈波的说法，2020年第二、第三季度，ASML出口大陆地区的光刻机台数，超过了全球总台数的20%。当然，这些出售到大陆的光刻机，不包含EUV设备。对此，他表示，ASML必须要在遵守法律法规的前提下进行光刻机出口，但ASML对向大陆出口光刻机是保持开放态度的。由此可见，如果排除外界因素的干扰，ASML自身是很有诚意与大陆合作的。

报导指出，ASML成立于1984年，当时市面上尚有多家生产光刻机的公司，而ASML位居最后一名，仅用2年时间，ASML就研制出了型号为PAS2500 的晶圆步进式光刻机（Stepper），它可以生产VLSI 一代的晶片，这使ASML在市场上站稳了脚跟，也打开了知名度。

值得一提的是，早在1988年，ASML在进军亚洲之时，就向大陆出售了最早一台设备。经过30多年的深耕，ASML在大陆已经出售700多台光刻机装机，涵盖了ASML公司（EUV设备之外）的绝大部分类型产品。不仅如此，ASML目前在大陆设有12个办公室、11个仓储物流中心及2处技术开发中心，还在大陆专门建设了一个培训中心，培养光刻行业人才。

然而，作为全球最大的光刻机企业，ASML享有EUV技术带来的商业发展便利，同时也不得不承受大国竞争和冲突下的压力。一个典型的案例，就是EUV出口大陆受阻。

报导分析，EUV是光刻机在发展过程中的第五代产品，由于采用了极紫外线，它的最小工业节点到了22-7奈米，可以说是世界上最先进的光刻机设备，而这种设备，只有ASML能造出来。不过，在美国主导的《瓦森纳协定》（Wassenaar Arrangement）的影响下，这一高科技设备对大陆的出口受到严格限制，直到2018年才发生转机。

2018年4月，中芯国际向ASML订购了一台EUV，预计2019年年初交货，经媒体披露后，ASML回应，对包括大陆客户在内的全球客户都一视同仁，且向大陆出售EUV并没有违反《瓦森纳协定》。同时，荷兰政府的确向ASML发放了出口许可证，美国立即盯上了这笔交易，接下来的几个月里，美方官员至少4次与荷兰官员开会，讨论可否直接封杀这笔交易。再加上当时供应商Prodrive 的一家工厂又发生重大火灾，ASML当时公开表示，2019年年初的出货预计将遭延后，美国政府继续就这笔交易进行背后运作。

2019年元旦前后，美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆，向对方讨论了这笔交易的「安全风险」，随后在2019年6月，美国国务卿蓬佩奥访问荷兰，再次向荷兰政府施加压力，要求停止这笔交易。值得一提的是，2019年6月30日，荷兰政府向ASML颁发的出口许可证到期。2019年7月，荷兰首相Mark Rutte访问美国，美国白宫高级官员向他展示了一份情报报告，内容是所谓大陆获得光刻机的可能后果。

报导并强调，根据《路透》报导，这次访问后不久，荷兰政府决定不再续签这份许可证，此后ASML未出现在荷兰外交部数据库的续签名单上。此后，关于EUV出口大陆回题，ASML官方说法一直是，ASML仍在等待新许可证申请的批准。而针对媒体对于美国施压的报导，荷兰外交部也在2020年在1月15日表示，在决定是否签发出口许可证时，荷兰政府要权衡经济和安全利益，最后，ASML向大陆市场出售EUV的计划，就此搁置。

2020年，随着美国对大陆半导体领域的打压，国人对于光刻机的关注度越来越高，而ASML 也因此受到关注。但能否向大陆出售EUV，的确非ASML所能左右。当然，目前美国政府的态度也存在不确定性，川普眼下必然无心考虑此事，恐怕一切还要等到明年新一届美国政府正式上任之后。如果拜登就任美国总统，他会阻挠荷兰向大陆出口EUV吗？