逼ASML断供EUV机台恐酿错 外媒警告美重击陆晶片业下场
半导体设备大厂荷兰商艾司摩尔（ASML）独家供应的极紫外光(EUV)微影设备，成为全球晶圆代工大厂跨入先进制程技术的关键设备，但随着大陆晶圆代工龙头中芯国际遭美制裁，导致EUV机台无法进口至大陆，让大陆先进制程技术发展受制。外媒指出，若完全阻断大陆获得EUV机台的可能性，将严重打击大陆半导体产业发展。
据纽约时报报导，川普政府在2019年成功游说荷兰政府阻止向陆企出售该设备，没有任何迹象表明拜登政府会改变立场。乔治城大学安全与新兴技术中心(Center for Security and Emerging Technology)研究分析师Will Hunt表示，该机构判断大陆至少要10年才能自主制造类似的设备，从大陆角度来看，这是非常烦人的问题。
ASML耗费多年才开发出EUV机台，并在2017年量产，售价超过1.5亿美元，机台运送需要使用20个货柜、20辆卡车与3架波音747飞机。ASML生产机台的供应链来自日本、美国以及德国的专门零组件与技术，这也足见半导体供应链全球化必须面对的现实。
美国如今想砸超过500亿美元发展本土半导体供应链，减少依赖台湾等地的先进制程晶片，降低台海发生战争所带来的供应链断链风险。
波士顿咨询集团（BCG）和半导体产业协会（SIA）在今年春季估计，建立本土半导体供应链至少要1兆美元，并使得晶片售价飙高。哈佛大学商学院管理学教授Willy Shih表示，ASML技术「极好地说明了为什么我们需要全球贸易」。
中芯国际2018年跟ASML订购EUV机台，但却在2019年遭到川普政府出手阻挠，导致中芯国际无法取得至关先进制程发展的EUV机台。当时ASML回应，是为了遵守《瓦圣纳协议》，须等待荷兰政府审核出口许可，才能出货中芯国际。
虽然失去这笔订单对于ASML影响不大，2017年起推出EUV机台，目前客户已经购买约100台，包括全球晶圆代工台积电、南韩科技大厂三星电子等客户，但其中有15%营收来自出售给大陆的旧型机台。
美国国家人工智慧安全委员会(National Security Commission on Artificial Intelligence)今年3月提交给国会与拜登的最终报告提议，对大陆出口管制扩大至ASML的设备，意在限制大陆AI在军事应用的发展。不过，也有专家认为，阻止销售管道会伤到ASML，也不会为美国带来战略利益，希望拜登政府的理性可以获胜。
中芯国际今年3月宣布，将与ASML签订12亿美元的订单，主要用来采购深紫外光(DUV)微影设备，期限到今年底，台积电在7奈米制程发展初期，也采用该设备制造晶片，这也成为中芯国际发展先进制程的救命手段之一。此外，大陆半导体生产设备中微半导体曾在2019年推出自主研发的 5奈米刻蚀机，并通过台积电验证，但在华为及中芯国际遭美国禁令影响下，中微半导体也暂停开发计划，甚至遭列美国禁止投资对象清单，但在大陆半导体自主化进程推进下，这也是中芯国际为数不多的选项之一。