ASML新技术 台积有望率先采用

ASML High NA EUV产品管理副总裁Greet Storms表示，ASML持续推进新的技术，目前EUV客户，大多数也都有下High NA EUV订单，目前ASML正和客户紧密合作，2026年希望能往量产方向推进。

ASML致力研发创新降低能源消耗，透过与客户密切合作，在提高生产力的同时，减少制造每片晶圆所产生的能耗。根据ASML 2023年报，从2018年到2023年，ASML EUV曝光每片晶圆的能耗减少了近40％，此外更希望到2025年再减少30％～35％的能耗。