《半导体》台积电：设备复原率逾7成 EUV等主要机台未受损

此次强震于新竹、龙潭和竹南科学园区的最大震度为5级，台中和台南科学园区则为4级。台积电表示，台湾晶圆厂工安系统正常，为确保人员安全，依内部程序启动相关预防措施，部分厂区在第一时间进行疏散，并在确认安全后回到工作岗位，详细影响正在确认中。

基于在地震应变和灾害预防上拥有丰富经验与能力，并定期进行安全演习以确保万全准备，台积电指出，在地震发生后仅10小时内，晶圆厂设备的复原率已超过70％，晶圆18厂等新建晶圆厂的复原率更已超过80％。

虽然部分厂区的少数设备受损并影响部分产线生产，但台积电表示，包括所有极紫外（EUV）光刻设备等主要机台皆无受损，已有资源到位以加速达到全面复原、且持续复工中，并与客户保持密切沟通。台积电将继续密切监控，并适时与客户直接沟通相关影响。