《产业》应材产学合作 强化MIT.nano先进研究能力

应材指出，这项合作将在美国建立独特的开放使用场域，采用与晶圆厂相同的量产设备，支援工业等级规模研发，以加速推进矽及化合物半导体、功率电子、光学运算、类比装置及其他关键技术发展。

位于MIT校园中心的MIT.nano设施占地约5620坪，设有高洁净（class-100）无尘室，采开放使用模式，机台组合和实验室不仅供校园使用，其他学术机构、非营利组织、政府、跨国企业到当地新创公司研究人员均可运用从事早期研发，新设施预计2025年初投入使用。

应材将在MIT.nano提供多种先进制程工具，可支援4.5吋和8吋晶圆，并升级MIT现有工具设备。除了协助MIT.nano的设备日常操作及维护外，应材工程师也将开发新制程能力，对MIT及其他地区的研究人员和学生皆有莫大助益。

应材表示，提供的设备、相关经费及实物支援将大幅提升MIT.nano 8吋晶圆制造能力。8吋晶圆市场应用广泛，包括消费电子、汽车、工业自动化、洁净能源等，可望缩减从学术实验到商业化的落差，有助桥接早期创新与产业市场路径。

作为与MIT.nano合作计划的一部分，应材将加入由全球不同产业的12家企业共同组成的MIT.nano联盟。在技术人员贡献下，应材将有机会与MIT各知识中心合作，包括继续成为微系统技术实验室（MTL）成员。

而麻州技术合作组织（MassTech）管理的NEMC中心，将拨款770万美元用于安装相关机台。NEMC为美国国防部选择的全美8个微电子共享中心之一，并依据晶片法案给予补助，加速推动关键技术商业化应用、带动就业及育才机会，并投资当地先进制造和技术部门。