长沙韶光芯材申请光掩模版清洗后缺陷检测分类专利，实现更高精度、更高效率的缺陷检测

金融界2024年12月25日消息，国家知识产权局信息显示，长沙韶光芯材科技有限公司申请一项名为“一种光掩模版清洗后的缺陷检测分类方法和系统”的专利，公开号CN 119169011 A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本发明公开了一种光掩模版清洗后的缺陷检测分类方法和系统，包括：S1：多波长的光源照射光掩模版；S2：对多波长拍摄的标注样本图像进行预处理；S3：获取已标注好缺陷类别的光掩模版图像样本训练Defect‑CNN算法；S4：采用训练后的Defect‑CNN模型对待分类的光掩模图像进行缺陷检测和分类，并生成检测报告；通过多波段图像融合与智能化的缺陷分类，实现了更高精度、更高效率的缺陷检测。

本文源自：金融界

作者：情报员