《电通股》蔚华科南方科技抢SiC基板检测商机 拚今年订单到手

在现今环境永续意识擡头的全球趋势下，许多国家已制定电动车的阶段性政策目标，SiC晶片需求迅速爆发，尤其用于生产电动汽车使用的耐高温高压SiC功率半导体元件，供给量远远不及需求。化合物半导体的基板材料品质决定下游晶片的可靠度及性能优劣，但SiC长晶速度较慢，且基板晶体缺陷只能以破坏性的KOH蚀刻方式进行抽样检测，使得SiC晶片制程成本居高不下，目前全球主要基板厂皆积极投资产能扩充并改善制程，加速产业布局以抢攻市占率。基板厂与元件厂若能在制程中对材料做全面非破坏性检测，不仅可减少原本KOH蚀刻的有害化学溶液使用量，更能及早发现问题，进而有效改善制程、提升良率，进而在化合物半导体市场中展现绝佳优势。

南方科技总经理王嘉业表示，目前市场上的光学技术只能检测表面非晶体缺陷，JadeSiC-NK系统采用先进的非线性光学技术，可对全片基板表面到特定深度进行扫描，反应晶体结构资讯，提供晶体缺陷密度及其分布状况，让客户有效掌握基板品质，未来生产出的元件品质与效能也能更加稳定。

蔚华科总经理杨燿州表示，考量经销代理的不稳定性及追求更好的获利结构，蔚华不断加强投资自有产品开发以求推出更贴近客户需求的解决方案，此次透过并购南方科技，加速自有产品的发展进程。他进一步指出，蔚华与南方科技自经销合作以来就有互相壮大的默契，成立先进光学材料检测实验室让独特的光学检测技术更快进入业界应用，透过客户的反复验证，进而调整产品规格以满足客户需求。除了将非线性光学技术应用在本次推出的JadeSiC-NK外，未来也将加速将南方科技在MicroLED、超颖材料、矽光子等先进光学检测技术的商业化，持续加大研发能量有效整合集团资源，发挥综效。