蔚華以漢微科為師拚自製！推 SiC 基板、矽光子檢測

蔚华与南方科技合作举行新品发表会，图左起为蔚华总经理杨燿州、蔚华董事长秦家骐、股东邰中和、股东技嘉董事长叶培城、南方科技董事长陈怡然、南方科技总经理王嘉业。王郁伦摄影

蔚华半导体代理业务遇逆风，正积极转向自研检测设备业务，除CIS检测，董事长秦家骐28日携手南方科技发表SiC（碳化矽）基板JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统，创新程度吸引三大SiC基板台厂派员与会，矽光子检测设备也正朝量产准备中，内部预估2024年在「自制为主，代理为辅」下，全年将挑战获利。

「我有个梦想，像汉民集团的汉微科，也是代理起家，后来投入前段设备，后来被ASML买走，是成功的案例，这就是因为他们有自己（研制）的东西。」蔚华董事长秦家骐以汉民集团为师，正大力从代理转向自制之路，能否成为汉微科第二，业界正高度瞩目。

蔚华科技28日携手持股51%的数位光学品牌南方科技，共同推出业界首创的JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统，采用先进非线性光学技术，可以对SiC基板进行全片扫描，找出基板内部的致命性晶体缺陷，用「全检」取代现行破坏性KOH（氢氧化钾）蚀刻「抽检」方式，有助于协助改善SiC功率元件生产良率，并替基板厂节省10%物理耗损。

而南方科技能有如此创新检验方法，主要是因为该团队过去做生物细胞检测设备，蔚华因有半导体通路经验，拿来运用于半导体检测，竟意外使光学技术价值大幅提升，机台设备身价超过4000万~5000万元。

对这个新检测技术相当重视，合晶、环球晶、盛新半导体三大SiC基板台湾业者都派员出席观礼，秦家骐开心透露很快就有订单，「期望全球大卖！现在全世界最大的前三家（SiC基板业者）都有来沟通，我认为很有机会！」

目前相对矽晶圆产业制程已有稳定高良率，第三类半导体则仍有良率瓶颈，SiC产能开出不多，秦家骐表示，「如果成为产业检测标准的话，肯定市场的量很大，且现在电动市场在各地渗透率才8~15%，加上充电桩，需要的晶片有多少！」他开心预估，2024年JadeSiC-NK检测系统交期4~6个月，2024年5~6月开始交货，一年可以卖数十台。

目前SiC大厂有Wolfspeed、美国Coherent、南韩SK Siltron、日本罗姆Rohm等，业界多以蚀刻检测方式，将一个晶锭切成20片左右基板，取头尾各一片做检测，检验完也就破坏报废了，导致每一个长晶炉每长出一颗晶锭都有约10%损耗，但同时也不能保证其他基板的品质，但南方科技的技术能做到一定深度扫描，许多关键缺陷都能抓出。

蔚华代理起家，发展跌跌撞撞，一路面对的挑战不少，2019年占7成营收的大客户Xcerra合约终止，后来虽大力拓展新代理品牌客户补产品线，但又因中美贸易战起，蔚华业务最大的中国大陆市场遭贸易限制，高阶机台销售受阻，中低阶则面临本土业者低价竞争，转投资金沙食品生意又退出。

「疫情将机台交期拉得很长，其次今年本来有几张很大的订单，大概2～3亿元以上的，客户下单了，但原厂限制不出货，做代理就是得仰人鼻息。」秦家骐一语道出代理业的宿命。

「未来期望自制为主，代理为辅。」秦家骐透露，未来蔚华还会进行策略性投资并购，也计划提高南方科技持股至100%，而CIS检测设备则是利用FPGA卡进行CMOS晶片检测运算，可大幅缩短检测时间，目前已有中国大陆客户在手，正跟日本原厂洽谈高相素晶片检测技术验证。

今年蔚华也投资奈米探针业者埃尔思，并增持南方科技100%股权，由于手握10几亿元现金，蔚华透露未来并购投资行动仍将不会停止。

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