蔚华科×南方科技 推非破坏性缺陷检测

蔚华科28日举行JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统发表会，左起为蔚华科技总经理杨燿州、蔚华科技董事长秦家骐、光电协进会董事长邰中和、技嘉科技董事长叶培城、南方科技董事长陈怡然、南方科技总经理王嘉业图／张瑞益

蔚华科JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统概况

蔚华科技（3055）携手旗下南方科技推出业界首创JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统，取代现行高成本的破坏性KOH（氢氧化钾）蚀刻检测方式，可提升产量并有助改善制程。蔚华科表示，JadeSiC-NK可为具有100个长晶炉的基板厂省下每年2.5亿元成本，且该系统2023年底前可望订单到手，2024年展开出货，将是未来强劲的营运成长动能。

电动车推动全球SiC晶片需求迅速爆发，尤其用于生产电动汽车使用的耐高温高压SiC功率半导体元件，供给量远远不及需求。化合物半导体的基板材料品质决定下游晶片的可靠度及性能优劣，但SiC长晶速度较慢，且基板晶体缺陷只能以破坏性的KOH蚀刻方式进行抽样检测，使得SiC晶片制程成本居高不下，目前全球主要基板厂皆积极投资产能扩充并改善制程，加速产业布局以抢攻市占率。

南方科技总经理王嘉业表示，目前市场上的光学技术只能检测表面非晶体缺陷，JadeSiC-NK系统采先进非线性光学技术，可对全片基板表面到特定深度进行扫描，反应晶体结构资讯，提供晶体缺陷密度及其分布状况，更能有效掌握基板品质。

王嘉业进一步说明，JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统专注在稳定且有效地找出基板中的致命性晶体缺陷，相较现行将SiC晶锭切片后取上下二片基板进行检测的KOH蚀刻方式，可大幅节省检测时间与基板成本。

蔚华科总经理杨燿州表示，公司从半导体封测设备跨足光学检测，首先锁定极具前景的化合物半导体材料缺陷检测，除了将非线性光学技术应用在本次推出的JadeSiC-NK外，未来将加速将南方科技在MicroLED、超颖材料、矽光子等先进光学检测技术的商业化，持续加大研发能量有效整合集团资源，发挥综效。