《电通股》蔚华前进电子生产制造设备展 秀检测硬实力

蔚华总经理杨燿州表示，在永续环保的浪潮下，具有高功率、高压特性的化合物半导体已成为全球能源及电动车产业发展主流，碳化矽基板的品质与价格是决定元件制造、模组生产质量的关键因素，也是推动产业发展的核心驱动力，市场上更有「得碳化矽基板者得天下」的说法。蔚华科技锁定碳化矽基板的市场需求，去年与南方科技共同发表业界首创的JadeSiC-NK非破坏性致命性缺陷检测系统，协助基板厂节省生产成本，加速制程及产量优化，目前蔚华科技已与全球多家指标性的大厂进行验证，并根据客户的回馈持续优化产品及服务，在这次展会上，蔚华科技将推动SiC基板的100%检测的理念，透过提供每片基板的出货检验报告，协助客户确保产品品质并维持价格，推动产业标准的建立，促进碳化矽基板交易模式的变革，稳定碳化矽基板的商业发展。

蔚华首次进入化合物半导体专区展位，除了展示JadeSiC-NK的最新技术发展外，还带来可有效反映宽能隙材料内隐特性的JadeSA-WBG三维应力分析检测系统，适用于SiC基板、同质及异质磊晶、元件制程材料应力及晶型掌握。另外，今年针对磊晶制程延伸开发的JadeSiC-EPi，透过光学扫描方式检测磊晶层上的致命缺陷，并可追溯缺陷生成原因，明确制程改善方向。蔚华科技与南方科技合作，不仅将光学技术运用于化合物半导体检测领域，还扩展到其他热门应用上，如：适用于Micro LED晶圆巨量PL及非接触式巨量漏电检测的JadeML解决方案，未来双方也计划加速开发超颖材料、矽光子等创新光学检测技术。

此外，蔚华科技在测试设备展示方面也相当引人注目。为满足市场上功率半导体、射频、SoC等晶片的多样化测试需求，蔚华科技整合经销品牌自动化测试与量测系统的领导厂商NI、义大利领导品牌Osai以及自有产品，推出了一系列高效、精密的测试设备及板件维修服务。在功率半导体测试方面，Osai的功率模组测试分类机具有高度自动化和灵活性，能够针对不同测试环境及需求进行测试性能扩充，搭配上CREA的测试解决方案，更能满足市场对于KGD(Known Good Die)的测试要求及趋势，协助客户以产高品质和高可靠性的产品抢占市场商机。

针对射频和SoC晶片的高度集成及复杂特性，NI半导体测试系统可对应射频信号的传输特性进行全面测试，并确保晶片在不同应用场景下的稳定性。而蔚华科技SP2500测试设备则具有高效率和高通量的特点，能够快速完成SoC晶片大量测试任务，提高产品的测试效率和生产效率。