荷蘭半導體設備管制生效前 美橫刀攔截ASML出貨DUV給陸企

荷兰半导体制造设备供应商艾司摩尔(ASML)的装配工程师正处理一台深紫外光微影设备。路透

彭博资讯报导,在荷兰限制高阶晶片制造设备出口的新禁令1月全面生效之前,荷兰半导体制造设备供应商艾司摩尔(ASML)已应美国总统拜登政府的要求,取消部分设备出货中国大陆。

根据ASML官网声明,荷兰政府撤消了NXT:2050i和NXT:2100i的部分出货许可,影响到少数中国大陆客户。该公司认为此事不致影响财务前景。

知情人士说,ASML本已取得向陆企出口三台顶级深紫外光微影设备(DUV)的许可,但美国官员与ASML进行接触,要求他们立即停止发货。

拜登正严堵中国大陆发展自己先进半导体产业,与盟国合作阻止大陆获进口技术。华为去年推出一款智慧手机,根据彭博报导,采用ASML浸润式微影设备制造的顶级晶片,可与苹果iPhone媲美。

根据知情人士,美国国安顾问沙利文去年底曾就此事致电荷兰政府,荷兰官员要美国直接联系ASML,商讨这些浸润式DUV的发货事宜。在美国提出要求后,数量有限、单价可达数千万美元的机器被取消发货,但还不清楚到底涉及多少台机器。

美国对ASML施压始于2019年,当时川普领导的政府促使荷兰政府颁禁令,不准向中国大陆销售ASML的顶级极紫外光微影设备(EUV)。ASML是全球唯一一家生产这种技术的公司。

随后,在拜登政府的推动下,荷兰去年进一步加强了对中国大陆的出口管制,1月1日起限制ASML提供的第二大先进产品系列DUV机器的出口。大陆一直在加紧储备这些设备。

中国海关数据显示,7至11月间,大陆进口的微影设备激增五倍多,达到37亿美元。由于陆企赶在出口管制生效前进口ASML机器,第3季中国几占ASML的近半销售额,比率远高于前一季的24%,再前一季是8%。

ASML即将离任的执行长温彼得(Peter Wennink)10月告诉投资人,新的限制措施将影响该公司多达15%在大陆的销售额。温彼得公开反对这些措施,并警告,这些措施可能激励中国大陆开发竞争性技术:「你给他们施加的压力愈大,他们就愈可能加倍努力。」